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台積電、三星和英特爾三大半導體廠相繼在半導體前段製程製程導入極紫外光(EUV)微影技術,深耕EUV光罩載具多年的家登(3680)傳捷報,領先對手率先通過艾司摩爾(ASML)最新的NXE3400機台認證,且已獲本土晶圓大廠追單,自本季起開始放量,下半年增幅擴大,加上第4季三星訂單助攻,讓家登今年營收大躍進,且逐季走高。

家登日前舉行20周年慶,董事長邱銘乾樂觀看好今年是EUV光罩載具的起飛年,家登從草創初期的營收350萬元,去年突破20億元,公司已立下朝百億元且躋進國內500大企業為目標。

邱銘乾表示,當初投入EUV光罩盒要花好幾億元,英特爾問他要不要投資,當年不知道會成為主流,當時除投入EUV光罩盒(Pod)外,還包括18吋晶圓傳送盒,EUV光罩盒不僅率先通過主要設備廠認證,也獲訂單,並自本季小量出貨,下半年放量更可觀。

據了解,隨半導體製程英特爾、台積電、三星等開始試產EUV製程,都為率先提供極紫外光光罩盒的家登,帶來強勁成長動能。

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